LEGEXSILIIZ是分析和排除誤差因素的超高精度CNC三維測(cè)量機(jī)
主體壓板部為實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性，嚴(yán)格選用材料，采用密閉結(jié)構(gòu)。此外，使用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬進(jìn)行應(yīng)力分析，保證因載荷變動(dòng)等引起的變形達(dá)到最小限度的幾何運(yùn)動(dòng)精度。此外，為了實(shí)現(xiàn)超高精度，還投入了多種技術(shù)，如驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)、振動(dòng)對(duì)策等。
、位置檢測(cè)用測(cè)長(zhǎng)單元包括熱膨脹系數(shù)÷0的超高精度結(jié)晶化玻璃輪廓器和高分辨率的高性能反射型線性編碼器的組通過配合，搭載了超高精度測(cè)長(zhǎng)單元(本公司制造)，可實(shí)現(xiàn)具有位置檢測(cè)能力的超高精度機(jī)床控制
超高精度機(jī)的安裝環(huán)境需要恒溫室等級(jí)，但通過溫度修正功能，能夠在廣泛的溫度環(huán)境下保證精度。
為了支持簡(jiǎn)單、高精度的測(cè)量，我們準(zhǔn)備了探針(接觸型、非接觸型)、數(shù)據(jù)處理裝置等多種選項(xiàng)