轉子設計和怠速功能，實現節能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現廣泛的工藝覆蓋
節能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

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代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

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