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更新時(shí)間：2026-07-30
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關(guān)閉 TFW-100 主機(jī)、TF-Lab 軟件，斷開設(shè)備電源，等待鹵素?zé)舫浞掷鋮s 30 分鐘，高溫?zé)襞萦|碰會(huì)燙傷、炸裂。
佩戴無塵手套、防靜電手環(huán)，禁止裸手接觸鏡頭、燈泡、光路鏡片，指紋油污會(huì)損傷鍍膜。
準(zhǔn)備耗材：無油壓縮氣吹、光學(xué)專用擦鏡紙、99.7% 無水乙醇、無塵棉簽、原廠 12V100W 鹵素?zé)簟⑹中÷萁z刀、無塵收納盒。
作業(yè)環(huán)境：無塵操作臺，關(guān)閉風(fēng)機(jī)直吹，避免灰塵二次落在光學(xué)元件表面。
用氣吹斜 45° 遠(yuǎn)距離吹掃鏡頭表面浮塵，先吹后擦，避免顆粒劃傷鍍膜。
折疊雙層擦鏡紙，滴 1 滴無水乙醇，僅潤濕紙角，禁止液體直接滴在鏡頭上。
鏡頭中心向外勻速單向螺旋擦拭，單次一張擦鏡紙只使用一次，不重復(fù)擦拭。
換干擦鏡紙輕吸殘留溶劑，靜置 1 分鐘自然揮發(fā)，確認(rèn)表面無水漬、印痕再開機(jī)。
斷電冷卻后，旋轉(zhuǎn)取下前端測量物鏡，放置于無塵紙上。
依次清潔物鏡前端鏡片、后端入光鏡片、鏡筒內(nèi)壁浮塵，棉簽蘸少量乙醇擦拭鏡筒內(nèi)部。
清潔設(shè)備內(nèi)部分光窗口、參考光路反射鏡片，流程同樣先吹塵再擦拭。
確認(rèn)所有光學(xué)元件干燥無殘留，對準(zhǔn)螺紋平穩(wěn)裝回物鏡，手?jǐn)Q至貼合，禁止工具大力緊固。
開機(jī)預(yù)熱 15 分鐘，使用標(biāo)準(zhǔn)硅片校準(zhǔn)基線，檢查光斑均勻無暗斑。
禁用 75% 酒精、丙酮、紙巾、棉簽干擦鏡頭；禁用鑷子、毛刷硬刮鏡片。
溶劑過量滲入鏡筒會(huì)腐蝕內(nèi)部鍍膜、粘連鏡組。
鏡頭表面存在劃痕無法修復(fù)，只能更換原廠物鏡。
斷電冷卻 30 分鐘，打開設(shè)備后側(cè)光源倉蓋板固定螺絲，取下蓋板。
觀察燈座結(jié)構(gòu)，松開燈泡兩側(cè)接線端子卡扣，輕拔電源接頭。
松開燈架兩顆固定螺絲，取出老化鹵素?zé)簦p拿燈座金屬底座，不觸碰燈泡玻璃管壁。
取出全新原廠 12V100W 鹵素?zé)簦檀鳠o塵手套，禁止觸摸玻璃泡殼。
將燈泡對準(zhǔn)燈架卡槽平穩(wěn)放置，輕微涂抹薄層導(dǎo)熱硅脂于金屬底座，提升散熱。
固定燈架螺絲，力度輕柔不打滑，插回光源接線端子，確認(rèn)接觸緊實(shí)無松動(dòng)。
對齊光路：輕微微調(diào)燈架左右、高低位置，保證鎢絲對準(zhǔn)光路中心。
裝回光源倉蓋板，擰緊固定螺絲，接通電源。
開機(jī)整機(jī)預(yù)熱 20 分鐘，打開 TF-Lab 測量軟件。
進(jìn)入校準(zhǔn)界面，執(zhí)行暗電流采集、標(biāo)準(zhǔn)硅片基線校正。
觀察光譜曲線全波段強(qiáng)度均勻，無局部凹陷、毛刺；多點(diǎn)測試標(biāo)準(zhǔn)膜厚片，數(shù)值誤差回歸設(shè)備公差范圍即更換完成。
記錄燈泡更換時(shí)間、累計(jì)點(diǎn)亮?xí)r長，建立耗材更換臺賬。
氣吹清理物鏡表面灰塵，目視檢查光斑完整。
擦拭載物臺玻璃測量窗口，清除樣品粉塵、碎屑。
查看光源強(qiáng)度數(shù)值，強(qiáng)度低于閾值提前備燈。
完整拆解清潔物鏡、內(nèi)部分光鏡片、光源出光窗口。
清理設(shè)備散熱孔灰塵，保證鹵素?zé)羯嵬〞常苊飧邷丶铀贌襞堇匣?/p>
緊固光源倉、光路模塊所有固定螺絲，防止震動(dòng)偏移光路。
執(zhí)行全波段基線校準(zhǔn)、多點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)片驗(yàn)證測量精度。
清潔內(nèi)部光譜探測器窗口，氣吹清理光路腔體積塵。
檢查設(shè)備電源線、USB 通訊線有無老化破損。
測試 Z 軸升降載物臺運(yùn)行順滑度，清理軌道粉塵。
核對燈泡累計(jì)工作時(shí)長，臨近 2000 小時(shí)提前采購備用光源。
整機(jī)光路準(zhǔn)直檢測，光軸偏移超標(biāo)聯(lián)系原廠調(diào)校。
更換老化散熱風(fēng)扇、密封圈。
全套光學(xué)元件深度清潔，更新整套基線校準(zhǔn)參數(shù)。
每日停機(jī)后用氣吹清潔鏡頭，蓋上原廠鏡頭防塵蓋。
長期停機(jī)超過 7 天，斷開電源，取出光源燈泡單獨(dú)防潮存放。
整機(jī)放置 40%–60% 濕度無塵環(huán)境，套設(shè)備防塵罩，內(nèi)部放置干燥劑。
再次啟用前完整清潔光路、更換干燥劑，預(yù)熱校準(zhǔn)后再生產(chǎn)測量。
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