蔡司工業(yè)顯微鏡依托自研無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)為核心，搭配不同照明模塊與成像組件，實(shí)現(xiàn)樣品微觀形貌、金相、缺陷的觀測與測量，我司深度參與蔡司工業(yè)顯微鏡的方案推薦與現(xiàn)場技術(shù)支持工作。

一、無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)（核心）

傳統(tǒng)顯微鏡物鏡會(huì)將光線匯聚成像，而蔡司無限遠(yuǎn)物鏡接收樣品反射 / 透射光后，輸出平行光束。物鏡到管鏡之間的光路為平行光區(qū)間，可自由插入分光鏡、偏振片、微分干涉組件，不會(huì)引入額外像差、畸變。平行光傳輸至管鏡后，由管鏡將平行光線匯聚形成中間像，再經(jīng)過目鏡或者工業(yè)相機(jī)完成二次成像。這套結(jié)構(gòu)可以保證全視場畫面均勻，色差、球面像差控制優(yōu)異，滿足高倍率下的清晰觀測。

二、照明系統(tǒng)原理

根據(jù)樣品類型分為透射照明與落射照明：

1. 透射照明：光源從樣品底部發(fā)出，光線穿透樣品，依靠樣品不同區(qū)域透光差異形成圖像，多用于透明薄片、薄膜、金相切片觀察。

2. 落射照明：光源從物鏡同軸方向照射樣品表面，光線經(jīng)樣品表面反射原路返回物鏡，適合金屬、半導(dǎo)體、PCB 等不透明工件的表面缺陷檢測。還可搭配環(huán)形光、斜照明、微分干涉 DIC 模塊，強(qiáng)化樣品表面凹凸紋理，把微小劃痕、崩邊、裂紋可視化。

三、成像與信號采集

光線經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像后，有兩種觀測方式：

• 目視觀測：中間像傳入目鏡，人眼直接觀察微觀圖像；

• 數(shù)字成像：內(nèi)置工業(yè)相機(jī)采集圖像，將光信號轉(zhuǎn)為電信號，傳輸至電腦軟件。軟件可完成圖像保存、測量、標(biāo)注、拼接，實(shí)現(xiàn)長度、面積、顆粒統(tǒng)計(jì)等定量檢測。

四、載臺與對焦控制系統(tǒng)

高精度電動(dòng)載臺帶動(dòng)樣品做 X/Y 軸移動(dòng)，Z 軸負(fù)責(zé)對焦。部分機(jī)型搭載自動(dòng)對焦模塊，實(shí)時(shí)識別畫面清晰度，自動(dòng)補(bǔ)償高度變化。同時(shí)內(nèi)置溫度補(bǔ)償算法，降低環(huán)境溫度波動(dòng)帶來的圖像偏移，保障多次測量重復(fù)性。

五、主流應(yīng)用場景

廣泛應(yīng)用于汽車零部件金相分析、半導(dǎo)體晶圓檢測、電子元器件失效分析、模具表面質(zhì)檢、醫(yī)療器械微觀缺陷檢查等精密制造領(lǐng)域。