一、整機系統構成

整機由DC 屏蔽驅動電機、多級三葉羅茨轉子組件、隔離式軸承潤滑腔、氣鎮機構、風冷散熱模塊、狀態監測與報警單元組成。核心設計亮點是氣體通路與潤滑腔相互隔離，軸承、齒輪潤滑油密封在獨立倉，不會進入抽氣腔體，從根源避免油蒸汽返流污染真空腔。采用風冷結構，不需要外接冷卻水與氮氣吹掃，安裝簡單。

二、核心抽氣原理：多級羅茨容積式壓縮

1. 一對三葉轉子由同步齒輪驅動，以固定間隙反向同步旋轉，轉子之間、轉子與泵殼互不接觸，無摩擦磨損。

2. 轉子轉動過程中，進氣側腔體容積逐步擴大，腔體內部壓力降低，腔體吸入氣體；繼續旋轉，進氣口被轉子隔離，封閉腔攜帶氣體轉向排氣側。

3. 排氣側容積不斷縮小，氣體被逐級壓縮，壓力升高后從排氣口排出。

4. CR16B 是多級串聯結構，多級羅茨腔依次壓縮，各級轉子寬度逐級收窄提升壓縮比，支持直接從大氣壓啟動抽真空，不需要額外搭配前級泵。

5. 抽速 16m3/h（280L/min），極限真空可達 3Pa，適合潔凈氣體連續抽排。

三、氣鎮機構工作邏輯

自帶氣鎮閥，當被抽介質含有水蒸氣等可凝性氣體時，開啟氣鎮，向壓縮腔混入少量干燥空氣，提升排氣側總壓，降低水汽分壓，防止水汽在泵內凝結積水，保護轉子腔體，拓展含水汽工況使用能力。

四、驅動與溫控保護機制

1. DC 屏蔽密封電機：電機外殼氣密隔離，密封性強、能耗低，減少向真空側的泄漏風險。

2. 強制風冷散熱：高速壓縮會產生壓縮熱，散熱風扇持續帶走泵體熱量，維持工作溫度穩定。

3. 內置監測保護：搭載溫度、電流、振動監測，出現過熱、過載、異常振動時觸發報警停機；配備通訊接口，支持上位機遠程監控運行狀態。

五、典型應用場景

1. 真空鍍膜：小型濺射、蒸鍍設備腔體預抽、分子泵前級泵；

2. 實驗室工藝：樣品真空脫泡、真空干燥、樹脂除氣；

3. 檢測設備：氦檢工裝、小型腔體檢漏、惰性氣體抽排；

4. 半導體、精密電子：對潔凈度有要求，禁止油污染的真空制程。

六、關鍵使用要點

1. 只能抽取潔凈空氣、氮氣等惰性氣體，禁止直接抽取腐蝕性氣體、大量粉塵；進氣前端建議加裝過濾器；

2. 含水汽工況務必開啟氣鎮，停機前空抽一段時間，排出泵內殘留水汽；

3. 管路密封必須可靠，KF25 法蘭對接，密封件定期檢查；

4. 禁止超壓、長時間超負荷運行；定期檢查風扇、軸承狀態；

5. 轉子為非接觸間隙設計，禁止異物進入泵腔，否則會造成轉子磕碰損壞。