氧氣分析儀是用于實時檢測氣體中氧含量的精密分析儀器，按照檢測原理分為氧化鋯、電化學、順磁、熒光法等，可適配微量氧、常量氧、高濃度氧不同檢測區間，廣泛應用于化工、半導體、熱處理、空分、環保等行業，具體應用場景如下：

一、半導體 & 電子行業

半導體制造是微量氧檢測核心場景。晶圓光刻、刻蝕、擴散、外延工藝中，保護氣（氮氣、氬氣、氫氣）內微量氧氣會造成晶片氧化、器件良率下降。氧氣分析儀在線監測高純氣源、工藝腔體、吹掃管路氧含量，控制氧雜質在 ppm 級別；同時用于 SMT 回流焊、波峰焊爐內保護氣氛監控，防止元器件氧化發黑。

二、熱處理、粉末冶金行業

淬火爐、退火爐、釬焊爐、燒結爐內部需要還原性或惰性氣氛，氧含量超標會導致工件氧化、脫碳、表面品質不合格。氧分析儀持續監測爐內氧濃度，聯動供氣系統調節氮氣、氨分解氣、富化氣供給，保障金屬、硬質合金、陶瓷產品表面質量。

三、空分、特種氣體行業

空分裝置監測分餾塔、產品氮氣、氬氣、高純氣體中的氧含量，判定氣體純度；氣瓶充裝、氣體純化設備、氣體管路終端檢測，作為氣體出廠合格判定依據；也用于制氧機、富氧裝置，監測產出氧氣濃度。

四、石油化工、煤化工

1. 反應釜、管道、儲罐惰性化保護：監測可燃氣體儲罐、反應器內氧含量，控制氧濃度低于爆炸下限，防范燃爆風險；

2. 加氫、裂解、合成工藝：監控工藝介質氧雜質，避免催化劑中毒失活；

3. 火炬、尾氣排放監測，輔助工藝安全管控。

五、鍋爐、窯爐、熱力燃燒行業

鍋爐、工業窯爐、焚燒爐煙道煙氣氧含量檢測，屬于燃燒優化控制。通過煙氣氧含量，調節風量、燃料配比，實現充分燃燒，降低 CO、氮氧化物排放，節約燃料，同時滿足環保在線監測要求。

六、鋰電池、新能源行業

鋰電池注液、烘烤、化成、手套箱環節，水氧含量是關鍵指標，微量氧分析儀實時監控手套箱內氧濃度，隔絕氧氣，防止鋰負極氧化；固態電池、負極材料燒結爐氣氛監控同樣大量使用。

七、食品醫藥包裝行業

用于食品氣調包裝（MAP）、藥品無菌包裝殘氧檢測，檢測包裝袋、西林瓶內部氧氣殘留，評估保鮮、防氧化效果；也用于凍干機、無菌隔離器內部氣氛監測，延長產品保質期。

八、環保、廢氣焚燒、污水處理

危廢焚燒、廢氣焚燒爐煙氣氧含量在線監測，配合環保平臺上傳數據；污水處理曝氣池、厭氧罐溶解氧配套（部分在線氧分析儀），監控生化池氧濃度，維持微生物活性。

九、其他場景

• 核電：惰性保護氣氛、艙內氧安全監測；

• 實驗室：混合氣配制、科研氣氛實驗；

• 船艙、密閉空間、井下：安全氧濃度監測，防止缺氧窒息。