發布時間:2026/7/18
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日本 NEW COSMOS 新宇宙(COSMOS)
設備全稱:XPS-7Ⅱ 泵吸式半導體材料有毒氣體檢測儀
核心定位:半導體晶圓廠、電子化工車間專用劇毒特種氣體泄漏巡檢儀,主機通用,插拔式更換傳感器探頭即可切換檢測氣體,免本機校準,運維極簡。
核心產品亮點
模塊化插拔傳感器
主機機身通用,僅更換XDS-7XX 系列傳感模組,自動識別氣體型號、量程、報警閾值,無需手動設置參數,單臺儀器兼容數十種半導體工藝氣體。
免整機校準
傳感器模組出廠預標定,更換后直接開機使用,大幅減少現場校準工時與耗材成本。
分級聲光報警
屏幕 4 位數字顯示(ppb/ppm 單位自動切換)+ 柱狀濃度條
低濃度:斷續蜂鳴;濃度升高:鳴響頻率加快;超標持續長鳴
三色指示燈:POWER 電源綠、TROUBLE 故障黃、ALARM 報警紅,支持一級 / 二級兩段報警
雙供電 + 便攜機身
供電:4 節 5 號 AA 干電池(續航≥12h),可選配 AC 電源適配器長期供電
尺寸:62×150×128mm,整機約 1.3kg,標配掛肩帶,可手持巡檢、掛身作業
數據存儲導出
自帶檢測數據記錄功能,可連接電腦讀取巡檢日志,便于車間溯源與臺賬管理。
內置微型氣泵主動泵吸
自帶吸氣泵,可外接延長采樣軟管,遠距離、狹小管路 / 設備縫隙隔空采樣檢漏。
半導體晶圓制造、芯片封裝潔凈車間,硅烷、磷烷、砷化氫等特氣柜、管道、閥門泄漏巡檢;
光伏電池、電子元器件蝕刻 / 沉積工藝尾氣與氣源檢漏;
化工實驗室、危化庫房有毒腐蝕性氣體日常巡檢;
廢氣處理設備后端尾氣濃度簡易監測。