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新一代干式真空泵發布,能耗可以降到什么水平?

更新時間:2026-08-24點擊次數:163

2026?08?24近日,ULVAC 愛發科新一代干式真空泵正式對外發布,節能表現成為本次新品的一大焦點。在半導體、鋰電等需要 24 小時不間斷運行的產線中,真空泵長期耗電是工廠運營成本的重要組成部分,更低的運行功耗,也成為設備選型的重要考量。

該款干泵搭載智能節能控制邏輯,可根據工藝階段自動調節功率輸出。粗抽階段保持滿功率輸出,保障抽速,不影響生產節拍;進入極限保壓工況之后,設備切換低功耗模式,相比上一代產品,同等工況下綜合能耗可下降 30%?60%,部分工況節電幅度最高可達 80%。在穩定極限真空狀態,部分機型運行功耗可低至 0.6kW,大幅降低長時間待機保壓的電力消耗。

能耗下降同時附帶散熱改善效果。整機發熱量降低,車間空調的制冷負荷隨之減輕,實現工廠側二次節能。新品并未為了省電犧牲工藝能力,依舊保留防腐涂層、排塵結構、無油干式腔體,可應對粉塵、溶劑蒸汽、弱腐蝕氣體,兼顧節能與復雜工況穩定性。

對于連續量產產線,長期運行下來電費差異會被持續放大。該系列新品面向真空鍍膜、鋰電極片烘烤、半導體制程等場景,在滿足工藝真空指標前提下,幫助企業壓縮全生命周期用電開支,平衡產能、可靠性與降本需求。


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