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原裝HORIBA堀場等離子發射控制器RU-1000 使用反應濺射將觸摸面板和玻璃基板的薄膜沉積在基材上。反應性濺射是在真空中使濺射粒子與氧或氮發生化學反應來成膜的方法，但定量供給反應氣體的方法會減慢成膜速度，難以實用化。然而，已知存在一種不穩定的過渡模式，其中沉積速率在沉積速率快??的反應模式和金屬模式之間變化很大，并且可以通過基于等離子體控制反應氣體來維持過渡區域排放強度。

北崎HORIBA堀場MU-3000多組分氣體混合裝置 根據生成的氣體成分配備質量流量控制器，可以通過簡單的操作生成混合氣體。 我們的產品陣容涵蓋從 2 種成分到最多 6 種成分的氣體混合物。 控制軟件具有程序操作功能、氣體濃度設定功能等，是適合各種研究開發用途的氣體發生系統。

日本供應HORIBA堀場氣體混合裝置MU-2200 混合氣體發生器：MU系列配備高性能質量流量控制器，均勻混合生成兩種或多種氣體。操作面板上采用觸摸屏，通過輸入混合氣體濃度和流量，生成任意濃度的混合氣體。