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ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 PRC-006A “Model：PRC” 是一種機械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。

ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機械增壓泵 “Model：PRC” 是一種機械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項。

ULVAC愛發(fā)科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 UR1800 通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科UR1200多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵UR421-T 通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。