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HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統

產品簡介

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統
GR-511F 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器,不僅可以精確穩定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。

產品型號:GR511F
更新時間:2026-08-04
廠商性質:經銷商
訪問量:891
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HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統


通過使用經過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監控氣體流量。

我司代理及優勢品牌一覽明細:

代理品牌:CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優勢品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

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優勢產品:日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

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