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產品簡介
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U30H真空泵是一種從封閉空間中排出氣體的機器，產生低于大氣壓的壓力狀態（真空）。 真空泵的種類很多，根據泵的機構和速度不同，需要根據用途和應用的不同而使用。
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U30H
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U30H
ULVAC Cryo已應用于電子、光學、太陽能、核聚變、太空開發等多個領域，并積累了良好的業績。
長處
重量輕、結構緊湊，出貨量大，是標準的低溫泵。
適用于實驗室設備和小型生產設備。
可以進行多次作（最多 3 個單元）。
超高真空（10-8Pa 或更少）。
低溫泵是一種混合真空泵，旨在實現從高真空到超高真空的條件。 該泵在安裝在內部的極低溫度表面冷凝和吸附氣體，有效地捕獲它們。 低溫泵最重要的特點是它們可以提供干凈的真空而不會受到油污染。
此外，盡管采用吸附方法，但與其他真空泵相比，低溫泵以其非常高的抽氣速度而聞名。 因此，低溫泵廣泛應用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究領域。
在考慮低溫泵的實施時，其高性能和提供清潔真空環境的能力是顯著的優勢。
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 28,000 |
| 水素 | 43,000 | ||
| アルゴン | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(20) |
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 7.8×108(5.9×106) |
| 水素 | 1.5×107(1.1×105) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) | min(Hz) | 240/200(50/60) | |
| 吸気口フランジ | VG-750 | ||
| コンプレッサユニット | C30VRT×2 | ||
| 質量 | Kg | 175.0 | |
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