產(chǎn)品簡(jiǎn)介
COSMO科斯莫 測(cè)試儀這是一款微壓電控氣動(dòng)調(diào)節(jié)器,可通過(guò)0~5 V的電壓輕松控制微低壓,并實(shí)現(xiàn)大流量的通流。屬于壓電驅(qū)動(dòng)微型精密電氣空壓調(diào)節(jié)器,依靠壓電陶瓷形變實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)械彈簧、電子式微量氣壓閉環(huán)調(diào)壓,多用于檢漏設(shè)備、半導(dǎo)體、精密氣動(dòng)、微流量氣密測(cè)試、微量氣壓閉環(huán)控制場(chǎng)景。
這是一款微壓電控氣動(dòng)調(diào)節(jié)器,可通過(guò)0~5 V的電壓輕松控制微低壓,并實(shí)現(xiàn)大流量的通流。屬于壓電驅(qū)動(dòng)微型精密電氣空壓調(diào)節(jié)器,依靠壓電陶瓷形變實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)械彈簧、電子式微量氣壓閉環(huán)調(diào)壓,多用于檢漏設(shè)備、半導(dǎo)體、精密氣動(dòng)、微流量氣密測(cè)試、微量氣壓閉環(huán)控制場(chǎng)景。
COSMO科斯莫 測(cè)試儀
特點(diǎn)·功能
通過(guò)0~5 V的電壓輸入控制微低壓
微低壓的高速控制
微低壓的高精度控制
能夠輸送大流量
7 kPa量程下150 L/min
35 kPa 范圍內(nèi) 200 L/min
關(guān)鍵性能參數(shù)
調(diào)壓精度:±0.2% FS~±0.5% FS,重復(fù)精度 ±0.1%,遠(yuǎn)超普通精密減壓閥
響應(yīng)速度:<5ms,電控跟隨快,適合動(dòng)態(tài)壓力閉環(huán)
介質(zhì):潔凈干燥壓縮空氣 / 惰性氣體,禁含水油
控制信號(hào):標(biāo)準(zhǔn) 0~10V DC(標(biāo)配),可選 4~20mA 電流控制
工作溫度:5~45℃
泄漏:閥內(nèi)微漏<0.01sccm,適配高精度氣密檢測(cè)
COSMO科斯莫 測(cè)試儀
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
無(wú)彈簧機(jī)械結(jié)構(gòu):壽命千萬(wàn)次、無(wú)疲勞漂移,長(zhǎng)期精度穩(wěn)定
微型體積:同精度體積僅普通電控減壓閥 1/3,設(shè)備緊湊集成
低功耗、低噪音:壓電驅(qū)動(dòng)幾乎無(wú)振動(dòng),不干擾精密傳感器、光學(xué)設(shè)備
線性優(yōu)異:輸入電壓與輸出氣壓線性>99%,自動(dòng)化 PLC 精準(zhǔn)程控