這是一款微壓電控氣動調節器，可通過0～5 V的電壓輕松控制微低壓，并實現大流量的通流。屬于壓電驅動微型精密電氣空壓調節器，依靠壓電陶瓷形變實現無機械彈簧、電子式微量氣壓閉環調壓，多用于檢漏設備、半導體、精密氣動、微流量氣密測試、微量氣壓閉環控制場景。

COSMO科斯莫 測試儀

特點·功能

通過0～5 V的電壓輸入控制微低壓

微低壓的高速控制

微低壓的高精度控制

能夠輸送大流量

7 kPa量程下150 L/min

35 kPa 范圍內 200 L/min

關鍵性能參數

調壓精度：±0.2% FS~±0.5% FS，重復精度 ±0.1%，遠超普通精密減壓閥

響應速度：＜5ms，電控跟隨快，適合動態壓力閉環

介質：潔凈干燥壓縮空氣 / 惰性氣體，禁含水油

控制信號：標準 0~10V DC（標配），可選 4~20mA 電流控制

工作溫度：5~45℃

泄漏：閥內微漏＜0.01sccm，適配高精度氣密檢測

COSMO科斯莫 測試儀

產品優勢

無彈簧機械結構：壽命千萬次、無疲勞漂移，長期精度穩定

微型體積：同精度體積僅普通電控減壓閥 1/3，設備緊湊集成

低功耗、低噪音：壓電驅動幾乎無振動，不干擾精密傳感器、光學設備

線性優異：輸入電壓與輸出氣壓線性＞99%，自動化 PLC 精準程控