MIYUKI美幸輝  蝶閥   伺服直驅(qū)式

MIYUKI美幸輝  蝶閥   伺服直驅(qū)式

日本 MIYUKI 美幸輝中高性價比伺服電動真空調(diào)節(jié)蝶閥，專門配合 MGCS?11/MGCS?05 等控制器組成閉環(huán)真空壓力控制系統(tǒng)。

工作原理

1. 驅(qū)動與控制性能

2. 伺服電機(jī)直驅(qū)，零背隙傳動，取消齒輪減速機(jī)構(gòu)，消除回程間隙，0?90° 全行程無級開度調(diào)節(jié)，閥位重復(fù)定位精度高

3. 微小開度穩(wěn)定可控，小流導(dǎo)區(qū)間調(diào)節(jié)平順，適合真空腔體精細(xì)穩(wěn)壓、緩泄壓工藝。

4. 運(yùn)行低震動低噪音，連續(xù)往復(fù)調(diào)節(jié)無沖擊，適配設(shè)備長時間量產(chǎn)運(yùn)行

5. 僅需電機(jī)電纜，無需鎖止電纜，布線相比 GAR 閘閥更簡潔。

6. 閥體、密封與潔凈

7. 接氣部件 SUS304 不銹鋼，內(nèi)腔電解拋光，放氣低；閥內(nèi)部無金屬滑動摩擦副，低顆粒析出，滿足常規(guī)成膜工藝潔凈需求。

8. 氦檢級泄漏指標(biāo)：內(nèi)漏≤1×10?? Pa?m3/s，軸封外漏≤1×10?1? Pa?m3/s，高真空保壓能力優(yōu)秀。

9. 標(biāo)準(zhǔn) FKM 氟橡膠 O 型圈密封；腐蝕等離子工況可選 Kalrez 全氟醚密封圈。

10. 閥體最高烘烤150℃；伺服電機(jī)頭部嚴(yán)禁烘烤，環(huán)境溫度≤40℃。

產(chǎn)品優(yōu)勢

精度高：±0.1% 設(shè)定值精度，對比普通真空控制器常見 ±0.5?1%，適合薄膜工藝對壓力波動敏感場景。

雙真空計(jì)輸入：可同時接兩只真空計(jì)，實(shí)現(xiàn)腔體內(nèi)外 / 閥前后雙點(diǎn)監(jiān)測，適合寬量程工藝切換。

三種控制方式：觸摸屏本地、I/O 硬接線聯(lián)鎖、RS?232C 上位機(jī)，方便集成到設(shè)備整機(jī) PLC 系統(tǒng)。

自帶真空計(jì)供電，減少外部電源配線。

7 組工藝配方存儲，多產(chǎn)品工藝一鍵調(diào)用，重復(fù)性好。

半寬 19 英寸機(jī)架，節(jié)省機(jī)柜空間。