MIYUKI美幸輝  氣動蝶閥  高真空適配

MIYUKI美幸輝  氣動蝶閥  高真空適配

日本 MIYUKI 美幸輝中高性價比伺服電動真空調節蝶閥，專門配合 MGCS?11/MGCS?05 等控制器組成閉環真空壓力控制系統。

工作原理

1. 驅動與控制性能

2. 伺服電機直驅，零背隙傳動，取消齒輪減速機構，消除回程間隙，0?90° 全行程無級開度調節，閥位重復定位精度高

3. 微小開度穩定可控，小流導區間調節平順，適合真空腔體精細穩壓、緩泄壓工藝。

4. 運行低震動低噪音，連續往復調節無沖擊，適配設備長時間量產運行

5. 僅需電機電纜，無需鎖止電纜，布線相比 GAR 閘閥更簡潔。

6. 閥體、密封與潔凈

7. 接氣部件 SUS304 不銹鋼，內腔電解拋光，放氣低；閥內部無金屬滑動摩擦副，低顆粒析出，滿足常規成膜工藝潔凈需求。

8. 氦檢級泄漏指標：內漏≤1×10?? Pa?m3/s，軸封外漏≤1×10?1? Pa?m3/s，高真空保壓能力優秀。

9. 標準 FKM 氟橡膠 O 型圈密封；腐蝕等離子工況可選 Kalrez 全氟醚密封圈。

10. 閥體最高烘烤150℃；伺服電機頭部嚴禁烘烤，環境溫度≤40℃。

產品優勢

精度高：±0.1% 設定值精度，對比普通真空控制器常見 ±0.5?1%，適合薄膜工藝對壓力波動敏感場景。

雙真空計輸入：可同時接兩只真空計，實現腔體內外 / 閥前后雙點監測，適合寬量程工藝切換。

三種控制方式：觸摸屏本地、I/O 硬接線聯鎖、RS?232C 上位機，方便集成到設備整機 PLC 系統。

自帶真空計供電，減少外部電源配線。

7 組工藝配方存儲，多產品工藝一鍵調用，重復性好。

半寬 19 英寸機架，節省機柜空間。