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Swagelok 全焊接單向閥 微壓?jiǎn)㈤_(kāi)半導(dǎo)體 / 特種氣體管路全焊接高純止回閥,VCR 面密封連接。定位超高純氣路單向保護(hù)元件,主打低微粒釋放、極低漏氣率;閥體整體焊接,消除閥體泄漏點(diǎn)。區(qū)別前面 CA/CH 可拆閥:CW 是**一次性全焊接閥,不能維保**,用于超高純特氣柜、氣體分配面板,防止氣體回流污染氣源。
產(chǎn)品分類
Swagelok 全焊接單向閥 微壓?jiǎn)㈤_(kāi)
Swagelok 全焊接單向閥 微壓?jiǎn)㈤_(kāi)
半導(dǎo)體 / 特種氣體管路全焊接高純止回閥,VCR 面密封連接。
定位超高純氣路單向保護(hù)元件,主打低微粒釋放、極低漏氣率;閥體整體焊接,消除閥體泄漏點(diǎn)。區(qū)別前面 CA/CH 可拆閥:CW 是**一次性全焊接閥,不能維保**,用于超高純特氣柜、氣體分配面板,防止氣體回流污染氣源。
全焊接閥體:無(wú)閥體拆裝縫隙,降低氣體滲透、微粒析出,氦檢漏級(jí)別
316L 低碳不銹鋼:低碳材質(zhì),減少碳析出,適配超高純特種氣體
VCR 面密封連接:金屬墊片密封,無(wú)卡套縫隙,高純管路行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接口
2psi 微開(kāi)啟:極低固定開(kāi)啟壓力,微小壓差即可導(dǎo)通,流阻小
FKM 閥芯密封:耐烴類、惰性氣體,抗老化;閥芯一體式粘接密封
X750 合金彈簧:耐腐蝕、抗應(yīng)力松弛,長(zhǎng)期工況開(kāi)啟壓力穩(wěn)定
低微粒釋放:內(nèi)孔精密加工 / EP 電拋版本,滿足半導(dǎo)體顆粒控制要求
固定啟閉特性:出廠標(biāo)定 2psi,批次一致性好,回路壓差穩(wěn)定
緊湊直通結(jié)構(gòu),節(jié)省特氣柜面板安裝空間
出廠逐臺(tái)氣密性檢測(cè),可提供檢測(cè)報(bào)告
半導(dǎo)體、光伏、LCD 超高純特種氣體輸送管路(N2、Ar、He 等惰性氣)
特氣柜、氣體分配盤、氣體支管單向保護(hù),防止氣源回流污染
分析儀器高純氣路、實(shí)驗(yàn)室超高純供氣系統(tǒng)
微電子工藝潔凈氣體管路,微量雜質(zhì)控制場(chǎng)景
潔凈工藝保護(hù),防止反向壓力倒灌