Fujikin富士金   金屬膜片閥  管路易集成

Fujikin富士金   金屬膜片閥  管路易集成

富士金 FINE PURE「極」系列1/2 寸手動金屬膜片切斷閥，半導體超高純特種氣體管路核心手動閥件，主打無高分子析出、氦檢級高氣密，針對有毒、可燃、腐蝕性特種工藝氣體以及高真空管路，作為氣柜、配氣面板上的手動隔離、檢修切斷閥。

特點 & 核心優(yōu)勢

1. 高純潔凈優(yōu)勢

2. 全金屬膜片結(jié)構(gòu)，無橡膠 / 塑料部件，不存在有機物析出，滿足半導體超高純工藝氣體要求

3. 禁油規(guī)格，出廠脫脂禁油處理，無油脂污染風險，適配敏感特種工藝氣體

4. SUS316L 閥體 + EP 電解拋光，表面微粒、離子溶出極低，不污染管路內(nèi)高純介質(zhì)

5. 全金屬膜片，無塑料析出，適配超高純氣體

6. 氦檢嚴苛，微泄漏等級高

7. 禁油處理，半導體氣體標配

8. 1/2 寸大 Cv，金屬隔膜閥中大流量

9. NCF718 金屬膜片，抗疲勞長壽命

10. 金屬墊片密封，無橡膠老化風險

11. 手輪手動操作，開關狀態(tài)直觀

12. 閥體 EP 拋光，低微粒釋放

應用場景

1. 半導體工藝特種氣體（SiH4、Cl?、NH?等）供氣管路

2. 有毒、可燃性高純氣體管路切斷

3. 真空、超高純氣體輸送系統(tǒng)

4. 面板、光伏特種氣體柜（GC）

5. 實驗室超高純氣體配氣裝置