NIDEC-工業傳感器-晶圓搬送機器人

NIDEC-工業傳感器-晶圓搬送機器人

是尼得科儀器推出的大氣型晶圓搬送機器人，主打半導體 EFEM 前端模塊配套，核心亮點是自研三段式連桿機械臂，區別于行業主流雙連桿方案，在保證同等作業覆蓋范圍的前提下，將機械臂最大伸展半徑縮短 72mm，非常適配半導體設備以 10mm 為單位的緊湊化設計趨勢，幫助整機廠商縮小設備占地面積，提升潔凈車間廠房利用率尼得科/N...。整機采用 5 軸伺服架構，X 軸行程 ±750mm、Z 軸行程 470mm、翻轉軸 ±275°、θ 軸 ±170°，全部搭載尼得科自研伺服馬達與絕對值編碼器，配套專用運動控制算法，抑制高速啟停時的振動，在高等級無塵環境下實現平穩、高速的晶圓搬運，減少晶圓滑移、顆粒污染、崩片等不良。設備標配雙獨立末端執行器，兩套手爪獨立驅動，支持一次同時拾取、放置兩片晶圓，手爪間距 10mm，和標準 FOUP 晶圓片間距匹配，無需額外偏移補償，有效縮短 Cycle Time，提升設備吞吐量。手爪支持選型切換，可選用真空吸附式或者邊緣夾持式，適配薄晶圓、翹曲晶圓等不同基板，同時支持選配翻轉軸，實現晶圓翻面，滿足光學檢測、正反面工藝處理需求。該機型最大的優勢是無行走軌道結構，依靠 3 連桿臂本身的運動，一臺機器人即可覆蓋最多 5 個 FOUP 的位置，省去長距離線性導軌組件，既降低設備采購成本，也減少導軌發塵、維護點位，提升潔凈穩定性。低取片路徑設計，降低整機高度限制，方便集成到各類緊湊型半導體工藝設備中，包括清洗機、研磨機、薄膜沉積設備、光學檢測設備等。潔凈性能按照半導體大氣搬送標準開發，運動部件做低發塵處理，控制粉塵產生，避免微粒污染晶圓表面。模塊化手爪接口標準化，手爪拆裝更換簡單，方便產線換型、維護保養。控制系統支持標準半導體通訊協議，可直接對接主機 PLC、EFEM 控制器，快速聯調。適用邊界上，該型號為大氣環境機器人，不適合真空腔體內搬送；針對大產能、多 FOUP 布局場景，相比軌道機器人結構更簡單，維護量更低。客戶主要為半導體設備廠商、EFEM 模組廠商，廣泛用于 200mm、300mm 晶圓產線的前端晶圓上料、下料、盒間轉移，是尼得科半導體搬運機器人的主力高吞吐機型。

NIDEC尼得科-馬達鐵芯加工用高速精密沖床-