更新時間:2026-10-21
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METONE 塵埃粒子計數(shù)器核心采用激光光散射法,屬于光學(xué)粒子計數(shù)器(OPC),依靠氣流采樣、激光照射、散射光采集、光電信號換算,同步完成懸浮塵埃顆粒的計數(shù)與粒徑分級,廣泛用于潔凈車間、實驗室、環(huán)境大氣顆粒物監(jiān)測場景Met One。
整套傳感單元主要包含:采樣泵、流量控制模塊、激光二極管、光學(xué)檢測腔、聚光反射鏡、光電二極管(PIN 探測器)、信號放大電路、MCU 數(shù)據(jù)處理單元;機型配備鞘氣(Sheath Air)回路,用來保護光學(xué)鏡片,同時約束樣氣,保證粒子單列有序通過激光探測區(qū),避免粒子重疊造成誤判Met One。
定量采樣內(nèi)置隔膜泵以恒定流量抽取待測空氣,樣氣經(jīng)過限流、過濾穩(wěn)壓,勻速送入光學(xué)傳感腔,流量穩(wěn)定是濃度計算準確的基礎(chǔ),濃度單位以每立方英尺或者每升內(nèi)顆粒數(shù)量統(tǒng)計。
激光照射產(chǎn)生散射單色激光束垂直穿過樣氣流道,當空氣中單個塵埃顆粒穿過激光照射區(qū)域時,微粒對激光產(chǎn)生折射、反射,形成散射光。在顆粒材質(zhì)相近前提下,顆粒粒徑越大,散射光的光強越高,這是區(qū)分粒徑的核心依據(jù)ManualsLib。
光學(xué)收集與光電轉(zhuǎn)換反射鏡將前向散射光匯聚到光電二極管,光電元件把光信號轉(zhuǎn)換成電壓脈沖信號:一個粒子對應(yīng)一個脈沖,脈沖幅值大小對應(yīng)顆粒尺寸。
信號甄別、分檔計數(shù)主板電路對脈沖幅值進行識別,按照預(yù)設(shè)粒徑通道(如 0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm)歸類統(tǒng)計,分別記錄不同檔位顆粒數(shù)量;再結(jié)合采樣流量換算,輸出單位體積內(nèi)的粒子濃度數(shù)值。
數(shù)據(jù)輸出計算結(jié)果直接在屏幕顯示,同時存儲記錄,可通過通訊接口上傳至監(jiān)控系統(tǒng)。部分 METONE 粉塵監(jiān)測型號,還會通過內(nèi)置算法,把粒子計數(shù)換算成 PM2.5、PM10 質(zhì)量濃度。
潔凈鞘氣沿著光路、鏡片表面形成保護層,待測樣氣被包裹在中心流束,粒子單行穿過激光區(qū)。一方面防止樣氣里粉塵附著、污染光學(xué)鏡片,延長激光與傳感器壽命;另一方面規(guī)避多顆粒同時經(jīng)過光斑,降低重合誤計數(shù),提升小顆粒檢測準確度,多用于半導(dǎo)體等高等級潔凈室機型Met One。
優(yōu)勢:響應(yīng)速度快、可實時在線監(jiān)測、便攜機型適配現(xiàn)場巡檢,無需濾膜稱重等待,快速反饋潔凈等級。局限:光散射屬于等效粒徑,和顆粒折射率、顏色、形態(tài)相關(guān);對于深色、高吸收材質(zhì)顆粒,測量結(jié)果會出現(xiàn)偏差,遇到高濃度粉塵還容易發(fā)生顆粒重疊,造成計數(shù)偏低,超高濃度工況需要前置稀釋裝置。
半導(dǎo)體潔凈廠房、制藥 GMP 車間、手術(shù)室、鋰電無塵車間、環(huán)境大氣 PM 監(jiān)測、過濾器檢漏驗證等。