MTL 微型 DD 直驅(qū)電機(jī)，也就是 μDD 系列，屬于永磁同步無(wú)刷伺服直驅(qū)馬達(dá)，核心思路就是舍棄齒輪、同步帶、聯(lián)軸器這類中間傳動(dòng)部件，轉(zhuǎn)子直接和負(fù)載剛性連接，依靠電機(jī)本體直接輸出扭矩，這也是它和常規(guī)伺服加減速箱方案最本質(zhì)的區(qū)別。

電機(jī)內(nèi)部定子采用高密度繞組排布，搭配多極永磁轉(zhuǎn)子，驅(qū)動(dòng)器輸出三相正弦波 PWM 驅(qū)動(dòng)信號(hào)，通過(guò)矢量控制算法改變定子磁場(chǎng)的相位，帶動(dòng)永磁轉(zhuǎn)子同步旋轉(zhuǎn)。依靠磁路結(jié)構(gòu)優(yōu)化，抑制齒槽轉(zhuǎn)矩，即使在低速區(qū)間，也可以保持扭矩平穩(wěn)輸出，減少轉(zhuǎn)動(dòng)抖動(dòng)，滿足光學(xué)對(duì)位、晶圓校正這類對(duì)震動(dòng)敏感的工況。

位置反饋是 MTL 微型 DD 電機(jī)的關(guān)鍵一環(huán)，編碼器和轉(zhuǎn)子一體化集成，同軸安裝，直接采集輸出軸真實(shí)角度，信號(hào)不會(huì)經(jīng)過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)二次傳遞，規(guī)避了齒輪磨損、彈性形變帶來(lái)的反饋偏差。主流機(jī)型搭載高分辨率單圈絕對(duì)值編碼器，上電之后就能直接讀取當(dāng)前位置，不需要每次開(kāi)機(jī)執(zhí)行原點(diǎn)回歸，既簡(jiǎn)化設(shè)備程序，也縮短工位節(jié)拍。增量版本則適合持續(xù)循環(huán)分度、角度連續(xù)掃描的場(chǎng)景。

支撐結(jié)構(gòu)上采用高剛性交叉滾子軸承，同時(shí)承擔(dān)徑向和軸向載荷，保證轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的同軸度，維持穩(wěn)定的定位重復(fù)性。產(chǎn)品分為 MDS 實(shí)心軸和 MDH 中空軸兩種結(jié)構(gòu)，中空版本軸心預(yù)留貫通通道，信號(hào)線、真空管路、光纖、氣動(dòng)管路可以直接從軸心穿過(guò)，不用額外布置旋轉(zhuǎn)接頭，讓整機(jī)機(jī)構(gòu)布局更加緊湊，這也是很多半導(dǎo)體、光學(xué)檢測(cè)設(shè)備選擇它的重要原因。

整套系統(tǒng)依靠驅(qū)動(dòng)器完成三環(huán)閉環(huán)控制，位置環(huán)、速度環(huán)、電流環(huán)聯(lián)動(dòng)，編碼器實(shí)時(shí)回傳角度信息，驅(qū)動(dòng)器持續(xù)修正輸出力矩，快速響應(yīng)上位機(jī)的角度指令，定位穩(wěn)定時(shí)間短，高頻往復(fù)啟停時(shí)超調(diào)小。因?yàn)闆](méi)有傳動(dòng)部件的機(jī)械磨損，運(yùn)行過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生粉塵碎屑，適配無(wú)塵車間的使用標(biāo)準(zhǔn)。