更新時(shí)間:2026-11-05
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簡化整機(jī)機(jī)械布局管線、光纖、真空吸嘴管路、傳感器線纜可以直接從馬達(dá)中心通孔穿過,不需要在旋轉(zhuǎn)平臺外側(cè)預(yù)留走線空間,省去外置旋轉(zhuǎn)接頭、拖鏈、管線支架,機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)更加簡潔,設(shè)備整體體積更容易做小。
規(guī)避管線纏繞干涉風(fēng)險(xiǎn)平臺持續(xù)旋轉(zhuǎn)、往復(fù)角度擺動(dòng)時(shí),管線隨軸心同步轉(zhuǎn)動(dòng),不會(huì)和外部支架、周邊零件發(fā)生剮蹭、纏繞,避免管線被拉扯破損,大幅降低管線斷裂、漏氣、信號斷線的故障概率。
提升旋轉(zhuǎn)平臺同軸度氣路、光路集中在旋轉(zhuǎn)中心,負(fù)載重心更靠近回轉(zhuǎn)中心,減少偏心帶來的震動(dòng),高速分度或者微小角度校正時(shí),運(yùn)行更平穩(wěn),對光學(xué)成像、視覺檢測的干擾更小。
適配潔凈與真空工況減少外部旋轉(zhuǎn)接頭這類易磨損零件,降低摩擦產(chǎn)生粉塵的可能性,符合半導(dǎo)體、光學(xué)無塵車間的潔凈要求;同時(shí)中空結(jié)構(gòu)方便真空管路直通載臺,用于晶圓、玻璃基板吸附固定。
減少信號干擾光路、信號線從軸心內(nèi)部走線,遠(yuǎn)離電機(jī)外側(cè)動(dòng)力線纜,布局規(guī)整,降低動(dòng)力線對微弱光學(xué)信號、傳感器信號的電磁干擾。
晶圓校正載臺、探針臺角度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、晶圓外觀 AOI 檢測轉(zhuǎn)臺。真空吸附管路直接從中心通孔通往吸盤,配合視覺完成角度找正,是 MDH 系列最主流的應(yīng)用場景。
鏡頭旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、偏振片旋轉(zhuǎn)臺、分光鏡角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。光纖、光源線纜從中空通道走線,避免外部管線遮擋光路,保證光學(xué)路徑穩(wěn)定。
小型旋轉(zhuǎn)夾爪、電動(dòng)夾爪旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)。夾爪氣管、傳感器線纜從軸心穿過,夾爪持續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)扭線,適合 3C、光學(xué)零部件拾取校正。
小型樣品旋轉(zhuǎn)載臺、檢測試管分度機(jī)構(gòu)。管路走線集中,結(jié)構(gòu)緊湊,方便整機(jī)做密封防護(hù),滿足潔凈檢測需求。
多工位小型轉(zhuǎn)盤、微量樣品切換旋轉(zhuǎn)平臺。中空通道可布置氣源、信號線路,適合空間受限、需要頻繁分度旋轉(zhuǎn)的自動(dòng)化工位。
負(fù)載偏重、軸向載荷很大,優(yōu)先選用 MDS 實(shí)心軸版本,剛性和承載能力更優(yōu);
不需要中心走線、追求成本,實(shí)心軸機(jī)型性價(jià)比更高;
連續(xù) 360° 無限旋轉(zhuǎn)且管線彎折半徑極小,即便中空走線,依然存在線材疲勞老化風(fēng)險(xiǎn),需要評估旋轉(zhuǎn)圈數(shù)限制。