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NIDEC尼得科-常溫晶片接合裝置-半自動化 MWB-04/06-R 屬于 NIDEC 尼得科 BONDMEISTER 系列常溫晶片接合裝置,半自動化機型,支持 4/6 英寸晶圓,采用真空離子活化常溫鍵合,對準精度 ±2μm,無需加熱,可實現硅、金屬、化合物半導體等同 / 異質晶片接合,多用于半導體實驗室研發、樣品試制及中小批量試產。
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