ULVAC愛發科      真空泵     干式無油腔

ULVAC愛發科      真空泵     干式無油腔

愛發科 120 檔、面向含粉 + 腐蝕氣體的工藝型螺桿干泵，適合半導體、鋰電、熱處理這類會產生粉末、腐蝕蒸氣的產線，可獨立抽氣，也可作為分子泵前級泵

特點與優勢

1. 干式無油結構：泵腔無潤滑油，無油返流污染，滿足潔凈真空要求，不需要定期換真空泵油，運維工作量更低。

2. 耐蝕強化：轉子、氣缸等核心部件做特殊耐蝕涂層，可耐受等離子工藝、刻蝕、去膠產生的酸性 / 鹵素類腐蝕氣體，相比 LS 抗腐蝕能力明顯提升

3. 粉體排出優化（核心賣點）：專屬螺桿型線設計，不容易積粉堵泵，解決工藝粉末堆積卡死泵體的痛點，是 MS 系列最大區別于 LS 的優勢

4. 全壓力區間連續運行：大氣壓直達極限真空（≤0.6Pa）可連續運轉，不用中途切換泵組，適合不間斷量產設備。

5. 基礎參數優勢：功率 2.4kW、水冷（4L/min）、噪音 61dB (A)，自帶吹掃氣接口（0~50SLM），可配氮氣吹掃進一步保護腔體；水蒸氣處理上限 1.5kg/h

6. 接口規格：進氣 KF50/ VG50，排氣 KF40，適配主流半導體、鋰電真空管路。

應用場景

1. 半導體 / 泛半導體：刻蝕、去膠（ashing）、等離子清洗、部分 PECVD，工藝產生副產物粉末、腐蝕性氣體，是 MS 最主流場景；也可作為分子泵前級泵

2. 鋰電池制造：電極干燥、注液真空脫泡、粉體材料真空處理，鋰電正負極粉料很容易析出，適配排粉需求

3. 真空熱處理：燒結爐、滲碳爐，金屬粉末、高溫分解氣氛排氣

4. 凍干、醫藥、特種干燥：真空冷凍干燥、溶劑脫除，帶少量腐蝕性有機蒸氣工況。