METROL美德龍-高真空級兼容開關設備-精密款

METROL美德龍-高真空級兼容開關設備-精密款

高真空對應型開關是 METROL 美德龍面向半導體真空腔體、真空光學設備開發的精密接觸定位傳感器，區別 STM 常溫止動開關、HT 高溫開關，整套元器件全部圍繞高真空低析出要求開發，解決普通傳感器在真空內部放氣污染產品、電路板放電、密封件揮發等痛點，是真空制程內部工件定位檢測的核心元件。產品最核心的優勢是低 outgassing 低放氣設計，全部殼體、線材、粘接劑、觸點支撐材料均選用真空適配特種材質，不使用常規 PVC、普通橡膠等易揮發材料，可在 10??Pa 高真空環境長期穩定工作，不會釋放有機污染物，保護晶圓、光學玻璃、鍍膜基板不受污染。采用純機械觸點結構，腔體內部不含 PCB 電子基板，從根源消除真空低壓下的微放電、電路板揮發問題，這是普通接觸開關無法實現的關鍵特性。產品線布局清晰，GN-PT5M3 為 M5×0.5 微型款，外徑小巧、自重僅 1.2g，適合真空腔內部緊湊模組、真空夾爪末端安裝；重復精度可達 3μm，無遲滯回差，每次工件抵靠觸發位置高度統一，滿足半導體設備微米級定位需求；GN-CSK141B 為 M14 規格，行程更長，適合大尺寸基板定位；GN-BP5MA 球形觸頭版本，允許 ±3° 以內斜向接觸，降低基板進給同軸度加工難度。接觸力 0.5N，屬于超輕力觸發規格，針對薄晶圓、玻璃、陶瓷等脆性工件，接觸檢測時不易壓痕、崩邊，適配精密光學、半導體顯示制程。同時支持真空烘烤除氣工藝，最高烘烤溫度 120℃，腔體定期 bake 除氣時傳感器無需拆卸，簡化真空設備運維流程。信號輸出為干接點觸點，分為常開 NO、常閉 NC，兼容 DC5~24V 控制回路，可直接接入真空設備的控制板與 PLC。線纜為低析出特氟龍線材，耐烘烤、不揮發，標配散線結構，方便真空饋通端子對接。防護等級 IP40，腔體內部潔凈工況使用，不適合外部大量切削液飛濺場景。使用上，該款僅限真空腔體內部潔凈環境使用，不適合腐蝕性等離子、強離子轟擊場景；安裝時需要額外設置外部硬擋塊，防止超行程擠壓損壞內部片簧結構。對比 STM 常溫止動開關，GN 做低放氣升級，專為真空腔體內部使用；對比 HT 耐熱款，側重點為低析出而不是高溫；對比真空光電、真空接近傳感器，不受真空內微弱等離子、光路遮擋影響，結構簡單可靠。客戶集中在半導體晶圓設備、真空鍍膜機、光學真空檢測臺、航天真空測試裝置廠商，多用于真空腔內晶圓落座確認、基板貼合到位校驗、真空治具工件止動定位、夾持狀態檢測。