METROL美德龍-高真空兼容開關(guān)設(shè)備-支持定制

METROL美德龍-高真空兼容開關(guān)設(shè)備-支持定制

高真空對應(yīng)型開關(guān)是 METROL 美德龍面向半導(dǎo)體真空腔體、真空光學(xué)設(shè)備開發(fā)的精密接觸定位傳感器，區(qū)別 STM 常溫止動(dòng)開關(guān)、HT 高溫開關(guān)，整套元器件全部圍繞高真空低析出要求開發(fā)，解決普通傳感器在真空內(nèi)部放氣污染產(chǎn)品、電路板放電、密封件揮發(fā)等痛點(diǎn)，是真空制程內(nèi)部工件定位檢測的核心元件。產(chǎn)品最核心的優(yōu)勢是低 outgassing 低放氣設(shè)計(jì)，全部殼體、線材、粘接劑、觸點(diǎn)支撐材料均選用真空適配特種材質(zhì)，不使用常規(guī) PVC、普通橡膠等易揮發(fā)材料，可在 10??Pa 高真空環(huán)境長期穩(wěn)定工作，不會(huì)釋放有機(jī)污染物，保護(hù)晶圓、光學(xué)玻璃、鍍膜基板不受污染。采用純機(jī)械觸點(diǎn)結(jié)構(gòu)，腔體內(nèi)部不含 PCB 電子基板，從根源消除真空低壓下的微放電、電路板揮發(fā)問題，這是普通接觸開關(guān)無法實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵特性。產(chǎn)品線布局清晰，GN-PT5M3 為 M5×0.5 微型款，外徑小巧、自重僅 1.2g，適合真空腔內(nèi)部緊湊模組、真空夾爪末端安裝；重復(fù)精度可達(dá) 3μm，無遲滯回差，每次工件抵靠觸發(fā)位置高度統(tǒng)一，滿足半導(dǎo)體設(shè)備微米級(jí)定位需求；GN-CSK141B 為 M14 規(guī)格，行程更長，適合大尺寸基板定位；GN-BP5MA 球形觸頭版本，允許 ±3° 以內(nèi)斜向接觸，降低基板進(jìn)給同軸度加工難度。接觸力 0.5N，屬于超輕力觸發(fā)規(guī)格，針對薄晶圓、玻璃、陶瓷等脆性工件，接觸檢測時(shí)不易壓痕、崩邊，適配精密光學(xué)、半導(dǎo)體顯示制程。同時(shí)支持真空烘烤除氣工藝，最高烘烤溫度 120℃，腔體定期 bake 除氣時(shí)傳感器無需拆卸，簡化真空設(shè)備運(yùn)維流程。信號(hào)輸出為干接點(diǎn)觸點(diǎn)，分為常開 NO、常閉 NC，兼容 DC5~24V 控制回路，可直接接入真空設(shè)備的控制板與 PLC。線纜為低析出特氟龍線材，耐烘烤、不揮發(fā)，標(biāo)配散線結(jié)構(gòu)，方便真空饋通端子對接。防護(hù)等級(jí) IP40，腔體內(nèi)部潔凈工況使用，不適合外部大量切削液飛濺場景。使用上，該款僅限真空腔體內(nèi)部潔凈環(huán)境使用，不適合腐蝕性等離子、強(qiáng)離子轟擊場景；安裝時(shí)需要額外設(shè)置外部硬擋塊，防止超行程擠壓損壞內(nèi)部片簧結(jié)構(gòu)。對比 STM 常溫止動(dòng)開關(guān)，GN 做低放氣升級(jí)，專為真空腔體內(nèi)部使用；對比 HT 耐熱款，側(cè)重點(diǎn)為低析出而不是高溫；對比真空光電、真空接近傳感器，不受真空內(nèi)微弱等離子、光路遮擋影響，結(jié)構(gòu)簡單可靠?？蛻艏性诎雽?dǎo)體晶圓設(shè)備、真空鍍膜機(jī)、光學(xué)真空檢測臺(tái)、航天真空測試裝置廠商，多用于真空腔內(nèi)晶圓落座確認(rèn)、基板貼合到位校驗(yàn)、真空治具工件止動(dòng)定位、夾持狀態(tài)檢測。