EBARA荏原 真空泵 通流能力強 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S100P
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EBARA荏原 真空泵 氮氣需吹掃 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S50
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EBARA荏原 真空泵 運維成本省 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S30
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EBARA荏原 真空泵 多工藝兼容 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S20N
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EBARA荏原 真空泵 離子注入 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S20P
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EBARA荏原 真空泵 適配刻蝕工 **半導體 / 泛半導體中制程無油干式真空泵,模塊化節能型干泵** 定位一句話:**兼顧腐蝕性工藝、多工藝兼容、低總擁有成本的中負荷主力干泵**
更新時間:2026-11-04
產品型號:EV?S20
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