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OTSUKA大塚 智能膜厚計 分光橢偏儀 微區(qū)薄膜光學(xué)檢測設(shè)備，定位介于普通分光膜厚儀與橢偏儀之間；主打**微小圖案區(qū)域膜厚 + 光學(xué)常數(shù) n/k 解析**，兼顧研發(fā)、品控、產(chǎn)線在線監(jiān)測；適合需要微區(qū)定點、面分布 mapping 掃描場景，性價比優(yōu)于橢偏儀

OTSUKA大塚 智能膜厚計 反射光譜法 微區(qū)薄膜光學(xué)檢測設(shè)備，定位介于普通分光膜厚儀與橢偏儀之間；主打**微小圖案區(qū)域膜厚 + 光學(xué)常數(shù) n/k 解析**，兼顧研發(fā)、品控、產(chǎn)線在線監(jiān)測；適合需要微區(qū)定點、面分布 mapping 掃描場景，性價比優(yōu)于橢偏儀