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OTSUKA大塚 膜厚計(jì) 高速測量 微區(qū)薄膜光學(xué)檢測設(shè)備，定位介于普通分光膜厚儀與橢偏儀之間；主打**微小圖案區(qū)域膜厚 + 光學(xué)常數(shù) n/k 解析**，兼顧研發(fā)、品控、產(chǎn)線在線監(jiān)測；適合需要微區(qū)定點(diǎn)、面分布 mapping 掃描場景，性價(jià)比優(yōu)于橢偏儀

OTSUKA大塚 膜厚計(jì) 微區(qū)微小光斑 微區(qū)薄膜光學(xué)檢測設(shè)備，定位介于普通分光膜厚儀與橢偏儀之間；主打**微小圖案區(qū)域膜厚 + 光學(xué)常數(shù) n/k 解析**，兼顧研發(fā)、品控、產(chǎn)線在線監(jiān)測；適合需要微區(qū)定點(diǎn)、面分布 mapping 掃描場景，性價(jià)比優(yōu)于橢偏儀

OTSUKA大塚 多通道光譜儀 高動(dòng)態(tài) 光纖式高速多通道光譜儀，兼顧**實(shí)驗(yàn)室研發(fā) + 產(chǎn)線在線集成**兩大方向；非接觸、快速分光檢測，可做光譜、色度、透過、反射、熒光、薄膜膜厚解析。